高溫PECVD系統
PECVD系統(集成氣化裝置)
三溫區PECVD系統
離子濺射儀
高功率PECVD系統(旋轉擺振)
雙爐膛滑軌式PECVD
射頻獨立系統
PECVD等離子體化學氣相沉積系統
等離子清洗機
離子濺射鍍膜儀